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Sensofar共聚焦白光干涉儀|用于薄膜晶體管技術(shù)

發(fā)布:北京儀光科技有限公司
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液晶顯示器中的TFT陣列

       有一種制造LCD(液晶顯示器)的方法,該方法提高了顯示器的對(duì)比度和響應(yīng)速度。它被稱為TFT(薄膜晶體管)技術(shù)。TFT是通過(guò)光刻技術(shù)制造的,了解每一層的高度至關(guān)重要。

       多高度插件可以檢測(cè)3種不同的高度,并將同高度的地形區(qū)域分組。在這種情況下,每一個(gè)形成TFT陣列的沉積層都會(huì)被檢測(cè)到。

multiple-step-height-topo

TFT topography

Foldable smartphone topography

可折疊智能手機(jī)

*新的智能手機(jī)和平板電腦開(kāi)始采用可折疊的柔性屏幕。屏幕制造商使用我們的S wide來(lái)表征可折疊區(qū)域的深度和寬度。在本例中,我們使用了4×4拼接。

 功能強(qiáng)大的分析軟件展示了剖面線上的關(guān)鍵尺寸。powerful analysis software

OLED FMM

符合規(guī)格的金屬掩模(FMM)圖形用于在OLED顯示器中形成RGB像素的沉積層。圖案的寬度和長(zhǎng)度是具有特征的,因?yàn)樗鼈儗⒍x沉積像素的大小。

FMM topography

 

通過(guò)使用矩形孔插件分析自動(dòng)測(cè)量生成的3D圖形,可以輕松發(fā)現(xiàn)數(shù)據(jù)中的趨勢(shì)。Rectangular Hole plugin.

R hole plugin topo

Spacer topography

TFT支柱-薄層晶體管

顯示器由需要隔開(kāi)一定距離的多層組成。支柱是分布在整個(gè)屏幕上的結(jié)構(gòu),以確保間隙。支柱可以是任何形狀;大多數(shù)是橢圓形、圓形或矩形。

 

紫外濾光片測(cè)量

有些顯示器內(nèi)部有多層濾光器,可以過(guò)濾設(shè)備發(fā)出的潛在危險(xiǎn)光,有些具有這種形狀。

 

Trench topography

FPD涂層趨勢(shì)

當(dāng)制造顯示器時(shí),在光刻期間施加若干涂層。通常需要了解通過(guò)結(jié)構(gòu)的涂層的均勻性。

FPD Topography

 

analysis software 該分析軟件是選擇剖面(任何方向)和進(jìn)行手動(dòng)驗(yàn)證的極好工具。該圖像顯示了被測(cè)量結(jié)構(gòu)頂部的涂層平整度。

2024-07-05
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